热式气体质量流量控制器 型号:BDD-S030C

热式气体质量流量控制器
型号：BDD-S030C
流量：50SCCM
精度：1% F.S
本体数显的流量控制器，操作简单，示数直观，无需连接分体数显表，无需PLC编程，数字模拟量通讯均可！一键操作
气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）、SLM（标准升每分钟）

热式气体质量流量控制器 型号:BDD-S030C

标准状况：温度--293.15K(20℃)
压力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示满量程
型号：BDD-S030C
流量规格（氮气）：0-10sccm/10sccm-50slm
控制量程：2%-100 %
精度：≤±1.0%F.S
线性：≤±0.5%F.S
重复性：≤±0.2%F.S
阀门类型：常闭阀
响应时间：1-3sec
耐压：≤0-50Bar
通信信号：0-5V/4-20mA/Rs485
供电方式：14VDC--27VDC (300mA)
泄*漏率：1×10-9atm. cc/sec He

热式气体质量流量控制器 型号:BDD-S030C

应用行业：真空镀膜设备、石油化工、航空、航天、医药、制造业、火电、核电、天*然*气、加气站、液晶面板制造半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能*源与环境设备、各种分析仪器设备表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研实验室设备等行业的公司等